金屬氧化物電阻器在半導(dǎo)體中有哪些優(yōu)勢

來源：萬利隆電子人氣：發(fā)布時間：2020-07-30

金屬氧化物電阻器在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中由于其獨(dú)特的優(yōu)勢，例如金屬氧化物電阻器出色的靈敏度，成本效益，簡單的傳感機(jī)制和易于集成，已被廣泛研究并用于檢測各種有害，有毒和易爆氣體。氣體傳感特性例如氣體響應(yīng)，選擇性，穩(wěn)定性和響應(yīng)/恢復(fù)速度密切依賴于換能器設(shè)計，傳感材料以及傳感材料在傳感器上的沉積。

金屬氧化物電阻器應(yīng)用在傳感器的發(fā)展有一定的歷史，從龐大的多孔小球到厚膜。目前金屬氧化物電阻器為高性能氣體傳感器合成氧化物納米結(jié)構(gòu)的新策略。氧化物半導(dǎo)體中的氣體傳感反應(yīng)包括分析物氣體從周圍大氣向氧化物半導(dǎo)體表面的擴(kuò)散以及分析物氣體與氧化物表面之間的電荷轉(zhuǎn)移相互作用。

在這個過程中金屬氧化物電阻器強(qiáng)調(diào)了通過微孔，中孔和納米孔傳感膜進(jìn)行氣體傳輸?shù)闹匾?，而后者則主要由氣體吸附，表面反應(yīng)以及氧化物半導(dǎo)體表面附近的電荷載流子濃度的變化決定。以上所有決定氣體傳感特性的參數(shù)都緊密取決于氧化物納米結(jié)構(gòu)的尺寸，結(jié)晶度，組成，孔隙率和形態(tài)，包括納米棒，納米線，納米片，納米立方體及其組裝的分層，空心和卵黃殼結(jié)構(gòu)。

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